一、氮气纯度不够或者设备性能故障

　　可能原因：1、进气压力不够——调整进气压力设定

　　2、电路故障——确定电源连接，显示屏显示正常，检查高纯度制氮机是否循环正常

　　3、碳分子筛（CMS）污染——解决污染原因，检查进气过滤（例如气水分离器排液故障），更换吸干机的吸附剂和碳分子筛，不能继续使用

　　4、空气消耗量过大——确定高纯度制氮机性能满足系统要求和氮气输出需求

　　5、进气温度过高——检查技术参数（移除热源）

　　6、再生气不足——联系服务人员调整设定

　　7、再生气消音器堵塞——更换消音器，如果问题还存在，要及时询问技术人员

　　二、高纯度制氮机循故障

　　可能原因：1、控制器工作不正常——确保控制器供电正常，检查屏幕上吸附筒的工作状态确保电磁阀供电正常

　　2、控制器不显示——检查供电和熔断器

　　3、进气压力不足——进气压力最小88psig（6barg），如果压力不足，检查进气压力设定

　　4、再生泄压失败——电磁阀工作不正常，如果电源供给阀芯正常，更换电磁阀。正常工作的电磁阀有咔哒的声音

　　5、输出停止——检查供气是否正常，纯度控制阀和氦气纯度（检查报警状态）

　　三、持续泄压

　　可能原因：1、高纯度制氮机初始化失败——重启高纯度制氮机，确保制氮机在通电前已经加压完成并初始化

　　2、异常反吹气——阀门损坏，需要维修